18988774241（徐經理） 
| 流量準確度 | ±1%F.S |
| 流量線性度 | ±0.5%F.S |
| 流量重復精度 | ±0.2%F.S |
| 稀釋氣體流量范圍 |
0～20SLM；0～10SCCM； 0～500SCCM 可根據需求選擇 |
| 稀釋比 | 200:1 |
| 配比 | 1000:1（可根據客戶需求定制） |
| 輸入壓力 | 100Kpa～500Kpa |
| 顯示方式 | 800×480液晶7寸觸摸屏 |
| 環境溫度 | 5℃～+40℃ |
| 環境濕度 | <85%RH（無冷凝） |
| 設備耐壓 | <1Mpa |
| 工作壓差范圍 | 0.05Mpa～0.3Mpa |
| 工作電源 | 220VAC, 50±0.5Hz |
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